对于显微成像系统来说，分辨率是其重要的评价参数。这里显微系统的分辨率通常指的是横向分辨率，定义为“能区分物上两点之间的最小距离”。
通过这个定义可以看出，分辨率是一种较为主观的参数，物上两个点被探测后怎样才能算作“能区分”，这个程度是需要人为定义的。最常见的就是瑞利判据（Rayleigh Criterion），此外还有阿贝判据（Abbe Criterion）和斯派洛判据（Sparrow Criterion），根据这三种判据定义的分辨率公式如下表，分辨率由波长lambda和数值孔径NA决定，形式一致，只是系数有所不同。需要注意的是，同一个系统，使用瑞利判据时，其分辨率数值最大（最差），使用斯派洛判据时，其分辨率数值最小（最好）。如果没有明确指定判据时，通常指的是瑞利判据。
| 判据 | 分辨率公式 | 物理意义 | 提出时间 |
| 瑞利判据 | 艾里斑半径 | 19世纪末 | |
| 阿贝判据 | 波长的一半 | 1873 | |
| 斯派洛判据 | 两个点构成的PSF曲线仅有一个峰值 | 1916 |
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tThe Rayleigh Criterion for Microscope Resolution | Edinburgh Instruments